螺桿型干式真空泵詳細介紹，收藏一下

2024/11/15 15:44:30

螺桿型干式真空泵

1.工作原理

螺桿泵的工作循環可分為吸氣、壓縮和排氣三個過程。隨著轉子旋轉，每對相互嚙合的齒相繼完成相同的工作循環，現以其中的一對齒來說明。

1）吸氣過程

下圖示出螺桿泵的吸氣過程，所研究的一對齒用箭頭標出。在圖中，陽轉子按逆時針方向旋轉，陰轉子按順時針方向旋轉。圖中的轉子端面是吸氣端面。

螺桿真空泵的吸氣過程

圖a示出吸氣過程即將開始時的轉子位置。在這一時刻，這一對齒前端的型線完全嚙合，且即將與吸氣口連接。

隨著轉子開始轉動，由于齒的一端逐漸脫離嚙合而形成了齒間容積，這個齒間容積的擴大，在其內部形成了一定的真空，而此齒間容積又僅與吸氣口連通，因此氣體便在壓差作用下流入其中，如圖b中陰影部分所示。

在隨后的轉子旋轉過程中，陽轉子齒不斷從陰轉子齒的齒槽中脫離出來，齒間容積不斷擴大，并與吸氣孔口保持連通。

吸氣過程結束時的轉子位置如圖c所示，其最顯著的特點是齒間容積達到最大值。隨著轉子的旋轉，所研究的齒間容積不會再增加。齒間容積在此位置與吸氣孔口斷開，吸氣過程結束。

2）壓縮過程

下圖示出螺桿泵的壓縮過程。圖中的轉子端面是排氣端面。在這里，陽轉子沿順時針方向旋轉，陰轉子沿逆時針方向旋轉。

螺桿真空泵的壓縮過程

圖a示出螺桿泵壓縮過程即將開始時的轉子位置。此時氣體被轉子齒和機殼包圍在一個封閉的空間中，齒間容積由于轉子齒的嚙合就要開始減小。

隨著轉子的旋轉，齒間容積由于轉子齒的嚙合而不斷減小。被密封在齒間容積中的氣體被占據體積也隨之減小，導致壓力升高，從而實現氣體的壓縮過程，如圖b所示。壓縮過程可一直持續到齒間容積即將與排氣孔口連通之前。如圖c所示。

3）排氣過程

下圖示出螺桿泵的排氣過程。齒間容積與排氣孔口連通后，即開始排氣過程。隨著齒間容積的不斷縮小，具有排氣壓力的氣體逐漸通過排氣孔口被排出，如圖a所示。

這個過程一直持續到齒末端的型線完全嚙合，如圖b所示。此時，齒間容積內的氣體通過排氣孔口被完全排出，封閉的齒間容積的體積變為零。

螺桿真空泵的排氣過程

2.干式螺桿真空泵特征

①可靠性高。螺桿式干式真空泵零部件少，沒有易損件，因此它運轉可靠，壽命長。

②操作維護方便。

③動力平衡性好。螺桿式干式真空泵沒有不平衡的慣性力，機器可平穩地高速運行。

④適應性強。螺桿式干式真空泵具有強制輸氣的特點，在寬廣的壓力范圍內能保持較高的抽速，排氣量幾乎不受排氣壓力的影響.

⑤多相混輸。由于螺桿式干式真空泵轉子齒面間留有微小間隙，因而可抽除腐蝕性、有毒、含有粉塵、可凝性蒸汽等多種氣體。

3.螺桿式干式真空泵的應用

螺桿式干式真空泵廣泛應用于電子、核能、化工、醫藥、食品工業等領域。在半導體工業中用于生產芯片、制造液晶顯示器、蝕刻、生產PLASMA的CVD制程。

在核工業中用于核反應堆及核工業真空獲得；化工上用于真空蒸餾及溶劑萃取高效回收溶劑，在脂肪酸生產中用來消除水污染，清除噴射器中的阻塞物；醫藥工業中用于回收藥液及藥物中間體，為人造器官生產提供清潔無菌條件，回收氣體消毒劑；食品工業中用于香料、香精濃縮，食品包裝等。應用范圍極為廣泛。具體如下：

具體應用：干燥處理、真空蒸餾、分子蒸餾、溶劑的回收、油氣回收、工廠普通真空、電子、真空鍍膜、航空、核工業領域能夠抽除普通空氣，易燃易爆氣體、腐蝕性氣體，尤其能滿足對獲得清潔真空要求較高的環境。

具體應用：真空鍍膜、真空蒸餾、真空干燥、拉單晶、特氣制造、離子刻蝕等。

紡織、冶金等行業在氨綸、芳綸、纖維、冶金等相關工藝中應用干式真空泵。

具體應用：真空脫泡、VOD真空吹氧脫碳法等。

一類是以半導體行業為代表，要求真空泵向被抽空間內的返流為零，以保護工件免受污染。對半導體行業中應用的真空系統的要求大體分為三個等級。

①清潔條件下的抽氣，只抽干空氣或含少許水蒸汽的空氣；

②中等條件下的抽氣，抽除工藝過程的反應氣體，但無固體顆粒物；

③惡劣條件下的抽氣，抽除化學反應物（有毒甚至致癌）及固體顆粒物。

另一類是以石化行業為代表，要求真空泵能大量抽除可凝性氣體，或腐蝕性氣體，或有毒氣體，或含有微塵的氣體。螺桿式干式真空泵廣泛應用于電子、核能、化工、醫藥、食品工業等領域。

4.干式螺桿真空泵的操作方法

1)開機前的檢查與準備

①檢查真空泵各個部件是否齊全；

②在不同油位視鏡處檢查油位，確認油位在油位視鏡中線偏上約3mm處；

③檢查確認真空機組各個閥門的狀態；

a.工藝入口閥關閉

b.入口過濾器排污閥關閉?

c.出口管線暢通，出口管排污閥打開

d.冷卻水入口管線和出口管線閥門打開

e.氮氣線閥門打開，吹掃氣壓力為0.5bar，氮封氣壓力為3bar，吹掃閥關閉

2)干式螺桿真空泵的開機操作步驟

a.現場與中控聯系，確認可以啟動，通過現場操作柱啟動按鈕啟動真空泵；

b.關閉出口管排污閥；

c.檢查或調節氮封氣流量，確認流量在2.5——3L/min；

d.打開吹掃閥，確認流量計流量調至最大，吹掃5——10分鐘后，關閉吹掃閥；

e.打開工藝入口閥，切入系統；

f.真空泵運轉過程中，注意觀察機體溫度，可通過溫度調節閥調節水量來控制溫度（溫度調節閥位于0刻度時水量最大，位于5刻度時水量最小），要求溫度盡量控制在50——75℃，確保不超過80℃。

3.螺桿真空泵的停機操作步驟

a.關閉工藝入口閥，切出系統；

b.打開吹掃閥，吹掃20——40分鐘后，關閉吹掃閥；

c.通過現場操作柱停止按鈕停機；

d.關閉氮氣閥門；

e.關閉冷卻水閥門；如冬季長期不用，需排凈機體及管線內的冷卻水以防凍；

f.打開出口管排污閥和入口過濾器排污閥，檢查是否有冷凝液。

5.干式螺桿真空泵常見故障及處理方法

6.干式螺桿真空泵安裝注意事項

1）螺桿泵在初次啟動前,應對集泥池、進泥管線等進行清理,以防止在施工落下的石塊、水泥塊及其他金屬物品進入破碎機或泵內。

平時啟啟動前應打開進出口閥門并確認管道通暢后方可動作，對正在運轉的泵在巡視中應主要注意其螺栓是否有松動、機泵及管線的振動是否超標、填料部位滴水中否在正常范圍、軸承及減速機溫度是否過高、各運轉部位是否有異常聲響。

2)作為螺桿泵，它所輸送的介質在泵中還起對轉子的冷卻及潤滑作用，因此是不允許空轉的，否則會因磨擦和發熱損壞定子及轉子，在泵初次使用之前應向泵的吸入端注入流體介質或者潤滑液，如甘油的水溶液或者稀釋的水玻璃、洗滌劑等等，以防初期啟動時泵處于磨擦狀態，在污水處理行業有時會發生污泥或者浮渣中的大塊雜質(如包裝袋等)將吸入管道堵塞的情況，應晝避免這各種現象的出現，如不慎發生此類情況應立即停泵清理，以保護泵的的安全運行。

3)泵和電機安裝的軸度精確與否，是泵地否平衡運轉的首要條件。雖然泵在出廠前均經過精確的調定，但底座安裝固定不當會導致底座扭曲，引起同軸度的超差，因此在首次運轉前,或在大修后應校驗其同軸度。

4)基座螺栓及泵上各處的螺栓，在運行過程中，基座螺栓的松動會造成機體的振動、泵體移動、管線破裂等現象，因此對基座螺栓的經常緊固是十分必要的，對泵體上各處的螺栓也應如此，.在工作中應經常檢查電機與減速機之間、減速機與吸入腔之間以及吸入腔與定子之間的螺栓是否牢固。

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