真空等離子噴涂（VPS）是一種在真空中，表面可以涂上等離子增強的涂層過程。這個過程可以給表面某些特性，而載體材料卻不會改變。

技術上要求的真空等離子噴涂（VPS）系統涂層工藝要求有一個雙壁的水冷式真空室。待涂覆的部件放在里面，然后關閉處理室。真空系統大发云將腔室排出壓力為0.08毫巴。這確保了大氣中的氧氣和附著在部件上的水蒸氣完全被疏散，不會對部件產生負面影響。這也為產生極其純凈的氣體環境創造了條件。接著，處理室與氬氣的壓力會被刷新到100毫巴，然后進一步疏散到1毫巴。

只有當工藝氣體混合物進入，等離子燃燒器被開啟時，實際的涂層才會開始。這是針對個別涂層和材料進行定制的。涂層主要受能量輸入、所使用的氣體和氣體混合物、溫度、涂覆時間以及單個工藝步驟的壓力水平的影響。

大发云在高電流的情況下，等離子體產生了一種電弧，將能量轉移到涂層上。噴霧粉末混合在氣體射流中，液體液滴在20,000攝氏度的溫度范圍內形成，并被加速、壓縮和噴射到工件表面。真空室中的一個處理機器人在這個過程中移動等離子燃燒器，并確保所有部件均勻地噴灑。整個涂裝過程大約需要30分鐘。

由于對特定壓力水平的精確維護對涂層工藝非常重要，使用頻率控制的螺桿真空泵作為真空系統的后備泵。真空系統分為三個階段。在每一種情況下，它由兩個真空助力器組成，它預先壓縮了被疏散的空氣和沖水或過程氣體，然后將它傳送給另外兩個額外正在并行工作的真空助推器。因此，在氣體混合物或氣體被進一步壓縮在下游的螺桿真空泵之前，就會產生額外的壓縮，從而達到系統的最終壓力。使用的推進器的大小是協調的，以達到每小時12,000立方米的泵送速度。真空系統能夠迅速達到真空室中0.08毫巴的初始疏散所需的壓力，但能夠在所有壓力范圍內工作，達到900毫巴，并精確地維持該過程所需的設置點。

除了頻率控制驅動之外，好凱德螺桿真空泵也有其他優點，即它們是水冷的。這意味著操作溫度可以設定或被設定到一個溫度范圍，以防止過程氣體在真空泵中冷凝。這兩種螺桿真空泵都連接到真空等離子噴涂（VPS）涂層系統冷卻水系統。這也為整個系統提供了電離冷卻的水。由于水的冷卻，沒有任何熱量的釋放。螺桿真空泵以完全干燥的工藝運轉。這意味著，它們不需要在壓縮腔內操作流體，可以與過程氣體混合。

等離子噴涂（VPS）涂層系統，到目前為止，雅之雷德機電主要使用的是真空系統大发云，系統可使用旋轉葉片真空泵作為其涂層系統的支持泵。這些油潤滑的真空泵是系統中非常可靠和強大的部件。但是由于設計，旋轉葉片真空泵只能在有限范圍內使用頻率控制。